EUA. A Mass-Vac, Inc. apresentou o MV Multi-Trap® 12”, um filtro para entrada de bomba de vácuo de alta capacidade para processos de fabricação de pastilhas semicondutoras. O filtro evita que subprodutos de partículas pesadas danifiquem as bombas.
O MV Multi-Trap® 12” é fabricado em aço inoxidável e pode ser disponibilizado com diferentes tamanhos de porta e uma ampla variedade de elementos de filtro. Ideal para processos LPCVD, PECVD e ALD, o dispositivo pode ser facilmente configurado de acordo com os requisitos do fabricante de pastilhas.
Quando empilhado, o MV Multi-Trap® 12” oferece quatro estágios de filtração. As opções de filtração incluem elementos de 4,5” e 9” feitos de gaze de aço inoxidável, gaze de cobre, polipropileno nos tamanhos de 2, 5 e 20 mícrons, Sodasorb®, alumina ativada e carvão ativado. Capazes de reter partículas e condensáveis, esses filtros de alta capacidade evitam o acúmulo na linha, na válvula borboleta e em bombas de vácuo secas.
Fundada em 1971, a Mass-Vac, Inc. oferece suporte e serviços relacionados a bombas de vácuo. Ao longo dos anos, a empresa incluiu em seu portfólio equipamentos de vácuo novos e usados, fluidos de bombas de vácuo e componentes de vácuo. Também oferece uma linha completa de purgadores de entrada de vácuo, purgadores de escape e sistemas de filtração de óleo.
